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TD-GS600L电加热催化吸附式尾气处理设备
吸附式尾气处理设备
TD系列制程气体通过进气口进入主腔体（进气口：6port），电加热装置位于主腔体中间位置，通过电加热装置，加热器均匀分布安装在主腔体位置，通过电能加热，对进入的制程废气在反应室内进行高温分解，使其废气分子转化成各种活性粒子，反应生成H2O、CO2等无害物质，再经冷却系统冷却降温后由吸附剂吸附或氧化，将处理达标的气体定向排放至厂务中央系统。
| 目录 | 明细 |
| 腔体接口 | 6 Ports |
| 处理容量 | 600LPM |
| 设备尺寸 (W×D×H ) | 2100×850×1600(mm) |
| 操作方式 | Automatic (PLC |
电源供应 | AC 3phase 380V/208V 50/60HZ 3wire+PE+N |
其他特点 |
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| TD-GS600L 配置需求 | ||||||||
| 设备各连接口配置 | 厂务二次配要求 | |||||||
| 项次 | 名称 | 材质 | 尺寸规格 | 数量 | 接口方式 | 需求 | 材质 | 备注 |
| 1 | 酸碱排气接口 | SUS | IS0-160 | 1 | C型夹连接 | <-500pa | 耐腐 | 1.连接处上方需配压力表、手阀2.厂务酸排管需做分段(2m/段)连接，方便后期维护。 |
| 2 | 一般排气接口 | SUS | φ102 | 1 | 法兰连接 | <-300pa | SUS | 连接处上方需加装手阀压力高于-5mmH20时设备会报警 |
| 3 | 冷却水回水接口 | SUS | 1” SWAGELOK | 1 | 1"SWAGELOK 卡套 | 4-6 kgf/cm² | SUS | 必须配有流量计、压力表 |
| 4 | 冷却水进水接口 | SUS | 1” SWAGELOK | 1 | 1"SWAGELOK 卡套 | 4-6 kgf/cm² 30-70LPM | SUS | 水质干净、7~-10°C |
| 5 | 排水接口 | PVC | 1/2” ANSI | 1 | 1/2"内丝 | Acid Drain4-9LPM | PVC | 需加装手阀、逆止阀 |
| 6 | 电源接口 | Cu | 25mm2 (3+1+1) | 1 | 端子螺丝固定 | 25mm2（3+1+1）50/60HZ AC3P 380/208V80A 3Wire+PE+N | 铜芯软线 | 厂务至设备之间的电源线不得有接头 电源电压三相380V和208V可选 |
| 7 | 远程接口（预留） | SUS+PVC | RS232公头 | 1 | PS232插头连接 | RS232母头 | 信号线 | 如有需求，由我司提供 |
| 8 | 氮气接入口 | SUS | 3/8” SWAGELOK | 1 | 3/8"SWAGELOK卡套 | 4-6 kgf/cm2 50-60LPM | SUS | 需加装调压阀 |
| 9 | CDA接入口 | SUS | 3/8” SWAGELOK | 1 | 3/8"SWAGELOK卡套 | 5-8 kgf/cm² 150-200LPM | SUS | 需加装调压阀 |
| 10 | 废气进气接口 | SUS | KF-40 | 6 | KF-40 CLAMP连接 | <-500-800pa | SUS | DRY-PUMP尾端需加装手阀 |
| 联锁功能表 | |||||||||
| 编号 | 安全组件名 | 所在位置 | 断开部件和功能 | 信号灯状态 | 蜂鸣器状态 | 显示屏是否报警 | 是否人工复位 | 动作方式 | 互锁实现回路 |
| 1 | 紧急停止 | 机台正视操作面板中间 | 断开所有电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 2 | 烟雾侦测器 | 电控箱上端、 机箱内上端 | 断开所有电源 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 3 | 漏液侦测器 | 设备水箱前端 | 断开自来水 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 4 | 机箱排气侦测器 | 机台顶端一般排气口 | 三通阀打开 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
| 5 | 过温、过热安全保护装置 | 吸附桶顶部 | 断开加热控制开关 | 红灯 | 报警 | 是 | 人工复位 | 硬件 | 安全继电器 |
1.腔室主体材料采用SUS 316材质；内部温度可以达到900℃以上；寿命＞12个月。
2.反应腔体（反应温度＞900度）采用耐高温（1600度以上）隔热材质，确保腔体能够长期稳定的运行。
3.设备备有隔膜排水泵，冷却水一旦泄漏进入水箱，排水泵会根据液位高低自动排水，同时关闭加热装置、工艺冷却水。
4.冷却腔体经独特旋转研发设计 ，使高温气体迅速冷却 ，充分反应的同时起到稳定压力的作用。
5.冷却腔及水箱及提供强大的冷却降温能力，保证排出气体＜50℃。
6.旁通阀配置阀位指示器功能，在旁通阀没有动作到位时，发出警报并停机。
7.吸附桶上有试剂颜色指示窗口，可以根据颜色判断吸附剂是否需要更换。
