高昇创芯（上海）半导体设备有限公司-HT-GS3600DW氢气专用尾气处理设备

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尾气处理设备

HT-GS3600DW氢气专用尾气处理设备

氢气专用尾气处理设备

工作原理

HT-GS3600DW废气处理设备系将制程设备所排出的废气经高温预热、与CDA燃烧反应处理，经水箱及后段水洗降温，再将此废气送至厂务中央系统。加热器均匀分布安装在主腔体位置，通过电能加热，对进入的制程废气在高温应室内进行反应，反应生成H2O，再由冷却系统降温，最后定向排放至厂务中央湿式洗涤系统。溶于水气体，通过水泵送至厂务水处理。

产品简介

目录	明细
废气进气接口	2 Ports*2
处理容量	单氢气处理量：400LPM2 混合特气处理量：450LPM2 单设备处理总量：3000LPM*2
设备尺寸 (W×D×H )	2000×1000×1847(mm)
操作方式	Automatic(PLC)*2
电源供应	16mm2×4C 50/60Hz AC 208V*2
其他特点	处理氢气流量更大，单腔氢气可以达到400/LPM 电热高温处理方式，温度到达850度单进口模式,预留Bypass进气口维护成本低

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配置需求

HT-GS3600DW 配置需求
设备各连接口配置					厂务二次配要求
项次	名称	材质	尺寸规格	数量	接口方式	需求	材质	备注
1	酸碱排气接口	SUS	IS0-160	1*2	C型夹连接	<-500pa	耐腐	1.连接处上方需配压力表、手阀2.厂务酸排管需做分段(2m/段)连接，方便后期维护。
2	一般排气接口		φ153	1*2	法兰连接	<-300pa	SUS	连接处上方需加装手阀
3	冷却水出接口	SUS	1/2” SWAGELOK	1*2	卡套连接	4-6 kgf/cm²	SUS
4	冷却水进水接口	SUS	1/2” SWAGELOK	1*2	卡套连接	4-6 kgf/cm²	SUS
5	排水接口	SUS	3/4” ANSI	1*2	3/4"内丝	Acid Drain	SUS
6	电源线进口	Cu	16mm²*4C(3相+1地)	1*2	端子螺丝固定	AC 208-220V 3P 50/60Hz 75A	铜芯软线	厂务至设备之间的电源线不得有接头
7	远程安全互锁接线盒		RS232			RS232母头	信号线
8	氮气进气接口	SUS	3/8” SWAGELOK	1*2	卡套接头	4-6kgf/cm²	SUS	需加装调压阀
9	压缩空气进气接口	SUS	1/2” SWAGELOK	1*2	卡套接头	5-8 kgf/cm²	SUS	需加装调压阀
10	废气进气接口	SUS	KF-50	1*2	KF-50 Clamp连接	<-500pa	SUS
11	自来水进水接口	SUS	1/2"SWAGELOK	1*2	1/2"SWAGELOK卡套	2-4kgf/cm² 4-9LPM	SUS	浑浊度:不超过5度 PH值:6.5-8.5

安全联锁位置及功能

联锁功能表

联锁功能表
编号	安全组件名	所在位置	断开部件和功能	信号灯状态	蜂鸣器状态	显示屏是否报警	是否人工复位	动作方式	互锁实现回路
1	紧急停止	机台正视操作面板中间	断开所有电源旁通打开	红灯	报警	是	人工复位	硬件	安全继电器
2	烟雾侦测器	电控箱上端、机箱内上端	断开所有电源旁通打开	红灯	报警	是	人工复位	硬件	安全继电器
3	漏液侦测器	设备水箱前端	断开自来水及循环水旁通打开	红灯	报警	是	人工复位	硬件	安全继电器
4	机箱排气侦测器	机台顶端一般排气口	旁通打开	红灯	报警	是	人工复位	硬件	安全继电器
5	超温安全保护装置	进气口及水箱外壁	断开加热控制器开关旁通打开	红灯	报警	是	人工复位	硬件	安全继电器

产品特点

气流设计，使气体得到充分预热，提供稳定的氢气燃烧。
助燃空气鼓风机设计，对高氢气流量，节约厂务压缩空气的使用。
环形陶瓷加热器设计，使反应腔体加热更加均匀，气体反应更加充分。
冷却腔体经独特旋转研发设计，使高温气体迅速冷却，充分反应的同时起到稳定压力的作用。
水箱及后段腔体提供强大的降温能力，保证排出气体＜50℃。

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